İz saptayan belirleyicilerin dördüncü tipi, yarıiletken plakalardan oluşuyor. Plakalar üzerinde; yatay ve dikey yönlerde iletken hatlar, bu hatların uçlarında da elektrot çiftleri var. Parçacıklar plakaya çarptığında, yüzeyde eşik ve elektron çiftleri oluşturuyor. Bu yük taşıyıcıları bir elektrik alanının etkisi altında ayrıştırılarak, zıt elektrotlarda toplanıyor.

Sonuç olarak elektrotlar arasında, ölçülebilir bir akım elde edilmiş oluyor ve parçacığın çarpma konumu; akım uyarılan iki elektrot çifti arasındaki iki iletken hattın hayali kesişme noktasından hareketle belirleniyor. Yarıiletken belirleyiciler çok duyarlı olup, parçacık konumunu 10μm hata payıyla saptayabiliyorlar. Bunar karşılık, radyasyondan etkilenmek gibi bir sakıncaları var. Pahalıya maloluyor ve daha çok, kısa ömürlü parçacıkların incelenmesinde kullanılıyorlar.