Mikromühendislik mini ve mikro boyutlarda ürünlerin tasarım ve üretimini sağlayan teknoloji, yöntem, ve yaklaşımları geliştiren ve uygulayan mühendislik dalı olarak tanımlanmaktadır. Genelde mikromühendislik, özelde ise mikromekatronik ürünlerin tasarım ve üretimi, alışılmış yöntem ve yaklaşımlarla mümkün değildir. Bu konularda yeni yöntem ve yaklaşımları geliştirmek ve uygulamak teknolojik bir zorunluluk ve akademik bir ilgi alanı olarak görülmektedir. Son on yılda yaşanan gelişmeler ile günümüzde ulaşılan teknolojik düzeyde mikro elektronik endüstrisinin sağladığı olanaklar ve hassas işleme yöntemlerinin uygulaması ile mini ve mikro düzeyde üç boyutlu mekanik ve elektromekanik elemanların üretilmesi mümkün olmuştur. Böylece bu tür mikroelemanların (mekanizmalar, motorlar, duyucular, ve piller) üretilmesi ve kullanıma başlanması sonucu bütünleşik sistemler ve mini/mikro makinalar yaygınlaşmış ve yeni bir mini/mikro teknoloji dünyası yaratılmıştır. Çağdaş bir mini/mikro makina; mekanizma teknolojisini, eyleyicileri, duyucuları, denetim elemanlarını, enerji kaynağını küçük boyutlu bir paket içine sığdırabilen bütünleşik yapılaşmayı olanaklı yapan mikromekatronik bir sistemdir.


Mikromekatronik sistemlerin temel taşlarından birisi de Mikro Elektro Mekanik Sistemler (MEMS) teknolojisidir. MEMS, mekanik ve elektronik yapı taşlarının ortak bir silikon yatağı üzerine entegre edilmesi ile oluşan ve fiziksel boyutları mikron seviyelerinde olan özel tasarımlı sistemler bütünüdür. MEMS ürünleri bir veya birden çok mikro mekanik ve mikro elektronik yapıyı içinde barındırırlar. Bu tür sistemlerin üretiminde çok özel işleme ve üretim teknikleri, özel yapılı malzemeler ve mikro fabrikasyon teknolojisi kullanılır.