Mikromühendislik
mini ve mikro boyutlarda ürünlerin tasarım ve üretimini sağlayan teknoloji, yöntem,
ve yaklaşımları geliştiren ve uygulayan mühendislik dalı olarak tanımlanmaktadır.
Genelde mikromühendislik, özelde ise mikromekatronik ürünlerin tasarım ve üretimi,
alışılmış yöntem ve yaklaşımlarla mümkün değildir. Bu konularda yeni yöntem ve
yaklaşımları geliştirmek ve uygulamak teknolojik bir zorunluluk ve akademik bir
ilgi alanı olarak görülmektedir. Son on yılda yaşanan gelişmeler ile günümüzde
ulaşılan teknolojik düzeyde mikro elektronik endüstrisinin sağladığı olanaklar
ve hassas işleme yöntemlerinin uygulaması ile mini ve mikro düzeyde üç boyutlu
mekanik ve elektromekanik elemanların üretilmesi mümkün olmuştur. Böylece bu tür
mikroelemanların (mekanizmalar, motorlar, duyucular, ve piller) üretilmesi ve
kullanıma başlanması sonucu bütünleşik sistemler ve mini/mikro makinalar yaygınlaşmış
ve yeni bir mini/mikro teknoloji dünyası yaratılmıştır. Çağdaş bir mini/mikro
makina; mekanizma teknolojisini, eyleyicileri, duyucuları, denetim elemanlarını,
enerji kaynağını küçük boyutlu bir paket içine sığdırabilen bütünleşik yapılaşmayı
olanaklı yapan mikromekatronik bir sistemdir. |
|
Mikromekatronik sistemlerin temel taşlarından birisi de Mikro Elektro Mekanik
Sistemler (MEMS) teknolojisidir. MEMS, mekanik ve elektronik yapı taşlarının ortak
bir silikon yatağı üzerine entegre edilmesi ile oluşan ve fiziksel boyutları mikron
seviyelerinde olan özel tasarımlı sistemler bütünüdür. MEMS ürünleri bir veya
birden çok mikro mekanik ve mikro elektronik yapıyı içinde barındırırlar. Bu tür
sistemlerin üretiminde çok özel işleme ve üretim teknikleri, özel yapılı malzemeler
ve mikro fabrikasyon teknolojisi kullanılır.

|