Mekatronik mühendisliği ile minyatürleşme sürecinin birleşimi sonunda, teknoloji tarihinde ilk kez ürün boyutlarında devrim niteliği sayılacak yeni ürünler üretilmesi mümkün oldu. İnsan konforunu tanımlayan kavramların değişmesi gerekti ve tamamen yeni teknolojik ve uygulama alanları gelişti. Ürünlerin geometrik boyutları ile birlikte ağırlıkları ve maliyetleri azaldı. Sonuçta Mikromühendislik olarak adlandırılan yeni bir mühendislik ilgi alanı gelişti. Mikromühendislik konularının ağırlıklı olarak mekatronik nitelikli olması nedeni ile Mikromekatronik terimi, mikromühendislik deyiminden daha çok kullanılmaya başlandı. Benzer şekilde mikrooptik ve mikrooptomekatronik terimleri de kullanılmaya başlandı. Şekilsel anlamda bir tanım gerekirse; Mikromekatronik, mikromühendisliğin mekatronik nitelikli özelliklerini ve ürünlerini kapsayan bir alandır. Mikromekatronik nitelikli ürünler Japonya ve uzak doğu ülkelerinde mikro makinalar, ABD ve Avrupa ülkelerinde ise mini/mikro robotlar olarak tanımlanmaktadır (Mini boyut tanımı milimetreler mertebesi, mikro tanımı ise milimetre altındaki boyutlar olarak tanımlanmıştır).
Mikro mühendislik uygulamalarının belirgin özellikleri şunlardır:
Mühendislik Tasarımında kuvvetli bütünleşik yaklaşım; bu kapsamda mekatronik ve çok disiplinli unsurların bir ürün üzerinde odaklanması anlaşılmaktadır.
