MEMS Teknolojisinin Kullanım Alanları:

Çok küçük yerlere sığdırılabilen MEMS ürünlerinden özellikle mikro duyucuların ve mikro eyleyicilerin bir çok uygulama alanı vardır. Günümüzde MEMS birçok degişik araştırma alanına girmiştir. Optik esaslı bilgi depolama, disk sürücüsü, mürekkep püskürtmeli yazıcılar bilgisayar teknolojisinde, DNA analizi, mikro-cerrahi aletler, minyatür biyokimyasal analitik cihazlar, kimyasal duyucular, Tıbbi ve Biyolojik uygulamalarda, Gelişmiş mikroskop uygulamaları, mikro ölçekli sıcaklık ölçüm uygulamaları Fizik ve labaratuvar cihazlarında, Radyo frekansı devre ve süzgeç uygulamaları, Haberleşmede, Sürüklenme direncinin kontrolü, miniatür hava araçları, mikro uydular

Havacılık ve uzay sanayinde, tümleşik optik sistemleri, optik anahtarlama, sayısal ışık işleme, düz panel görüntüleme yöntemleri, Optikte ve Basınç/sıcaklık/ivme ölçümü, taşıt güdüm teknolojisi de otomotivde sektöründe kullanılan bazı MEMS cihazlarıdır ve daha birçok yeni uygulama alanlarıda ortaya çıkmaktadır.