Mikro
Eyleyiciler: MEMS teknolojisi kullanılarak üretilen mikro eyleyicilerin içeriğinde
röleler, optik fiber butonlar, mikro konumlayıcılar, mikro motorlar ve mikro aktarma
sistemleri vardır. Bu birimler duyucuların hareketli elemanları olarak da kullanılabilirler.
Mikro eyleyicilerin boyutlarının çok küçük olması enerji kullanımını azaltırken
yapılan işin çok hassas, kesin ve doğru olmasını sağlar. Çevreye hiç bir zararı
olmayan bu mikro eyleyicilerin sisteme verdiği hareket yeteneği çok hassas ve
kesin olduğundan diğer alanlar ile birlikte tipik olarak tıbbi-cerrahi alanında
da bu tür sistemler sıklıkla kullanılır.