Mikro Eyleyiciler: MEMS teknolojisi kullanılarak üretilen mikro eyleyicilerin içeriğinde röleler, optik fiber butonlar, mikro konumlayıcılar, mikro motorlar ve mikro aktarma sistemleri vardır. Bu birimler duyucuların hareketli elemanları olarak da kullanılabilirler. Mikro eyleyicilerin boyutlarının çok küçük olması enerji kullanımını azaltırken yapılan işin çok hassas, kesin ve doğru olmasını sağlar. Çevreye hiç bir zararı olmayan bu mikro eyleyicilerin sisteme verdiği hareket yeteneği çok hassas ve kesin olduğundan diğer alanlar ile birlikte tipik olarak tıbbi-cerrahi alanında da bu tür sistemler sıklıkla kullanılır.

MEMS teknolojisi ile üretilen
mikro çalıştırma üniteleri