Mikro Duyucular: MEMS'in günümüzde en yaygın uygulama alanı, duyucu ("sensor") sistemleri ve bu sistemlerin sagladığı verileri işleyerek, yararlı sonuçlar üreten tümleşik sistemlerdir. Son zamanlarda otomotiv sektörü için üretilen ve kaza anında hava yastığını devreye sokan sistem, bunun en güsel örnegidir. Mikro basınç duyucuları, sıcaklık, titreşim, akustik duyucular, ivme ve dönüş duyucuları, yakınlık mesafe duyucuları, gerilme duyucuları ve diğerleri MEMS teknolojisi ile üretilen mikro duyucular sınıfını oluşturur. Duyucular her türlü cihazın en çok korunması gereken, en hassas ve en önemli parçalarının başında gelir. MEMS teknolojisi ile üretilen duyucuların boyutlarının çok küçük olması, hem çevreden gelebilecek her türlü zararlı etkiden korunmalarını hem de kullanım alanından tasarruf edilmesini sağlar. Duyucuların çevre şartlarından etkilenmeleri mikro duyucular ile minimuma indirilmiş ve böylece mikro duyucular ile çok hassas, doğru, kesin ölçümler yapılmış olur.
mikro duyucular
