MEMS TEKNOLOJİSİ
Silikon dünyada yaygın olarak en çok kullanım alanı bulan ikinci element olup yüzyıllar boyunca insanlığa oksitlenmiş formda (cam) hizmet etmiştir. 1947 yılında silikonun elektriksel özelliklerinin anlaşılması ile dünya yeni bir çağa girdi. Bu teknolojinin uygulama alanı öncelikle bilgisayarlar oldu, ve 50 yıl öncesinin hantal bilgisayarlarının yerini yüksek performanslı küçük sistemler aldı. Bu gelişmeler ile birlikte duyucu, bütünleşik (entegre) devre, işlemci gibi yeni elemanlar çevremizdeki cihazların ve makinaların ayrılmaz bir parçası oldu. Silikon işleme tekniklerinin sürekli gelişmesi ve bu tür çalışmalara olan ilginin artması ile Mikro Elektro Mekanik Sistem (MEMS) teknolojisi adı verilen yepyeni bir alan ortaya çıktı. Bu teknoloji Amerika'da Mikro Elektro Mekanik Sistem (MEMS), Avrupa'da ise Mikro Sistem Teknolojisi (MST) ismiyle anılıyor.
MEMS Teknolojisi Örnekleri: MEMS teknolojisinin tercih edilmesinin en büyük nedeni MEMS ürünlerinin fiziksel boyutlarının çok küçük olmasıdır. Mikro Duyucu (microsensor) ve Mikro eyleyiciler (microactuators) MEMS teknolojisinin başlıca çalışma konularıdır.
üzerlerine tıklayınız..
