Bu motorların çalışma mekanizması 50 yılı aşkın bir süredir bilinmesine rağmen yüksek performanslı piezoelektrik malzemelerin olmayışı bu motorların gelişimini (60'lı ve 70'li yıllarda Sovyetlerdeki bazı çalışmaların dışında) 80'li yıllara ertelemiştir. 80'li yıllardaki yarı-iletken teknolojisindeki gelişmelere paralel olarak hassas konumlandırıcılara duyulan ihtiyaç ve yüksek performaslı piezoelektrik malzeme teknolojisindeki gelişmelere baglı olarak, özellikle 1982 yılında Sashida tarafından geliştirilen yüriyen dalga tipi motordan sonra birçok yeni piezoelektrik motor geliştirilmiştir. Özellikle Japonya da Canon, Shinsei, Seiko ve Matsushita gibi şirketler bu motorların kullanaıldığı ürünler geliştirmişlerdir.
1982 yılında Sashida tarafından geliştirilen motorda kullanılan disk yada halka şeklindeki piezoelektrik malzemenin yüzeyi, yandaki şekilde görüldüğü gibi dilimli şekilde metal elektrotla kaplanmıştır. Dilimlenmiş elektrotları bulunan piezoelektrik halka (veya disk) aralarında 90 derece faz farkı olan iki alternatif sinyal ile uyarılmaktadır.
Bu uyarım sonucunda şekil 2'de görülen yürüyrn dalga oluşmaktadır. Yürüyen dalga tipindeki bu motorların değişik sürümleri Cannon Fotoğraf makinasında otomatik odaklama mekanizmasında kullanılmıştır. Allied Signal firması yine aynı mekanizmayla çalışan motorları füze ateşleme mekanizmasında (sürtünmeden dolayı uyarılmadığı zaman bulunduğu konumu korumasından dolayı) mekanik anahtar olarak kullanılmıştır. Aynı yöntemle çalışan motor Seiko firması tarafından 10 mm çapında üretilmiş ve kol saatlerinde sessiz alarm olarak kullanılmıştır.
